1.真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2.離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3.測 量 誤 差: <5%
4.測 量 分 辨 率: 10-5pa
5.允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
6.空 氣 濕 度: ≤80%RH
7.電 源: AC,220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 壓 輸 出: 脈沖≤30kV15kHz
⒑重 量: 8kg
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